长春光机所承担的国家重大专项——“高端全息光栅研发”项目顺利通过验收！

2019年12月6日，科技部科技评估中心在北京组织召开国家重大科学仪器设备开发专项“高端全息光栅研发”项目综合验收会，项目顺利通过验收。

验收会上，专家组听取了项目负责人、长春光机所齐向东研究员作的项目研制工作总结报告，观看了项目视频，开展了各参研单位研制设备远程视频连线和开发的高端光栅器件和光谱仪器的现场检查，并进行了质询讨论。会议专家一致同意该项目通过综合验收。 

图1　综合验收会与会代表合影 

光栅是一种具有纳米精密周期性微结构的精密光学元件，光栅除在各类光谱仪器中担当“芯片”角色外，还在天文学、激光器、光通讯、信息存储、新能源等诸多领域具有重要应用。高端全息光栅是指具有高光谱分辨率、高衍射效率、高刻线密度、低杂散光强度或特殊面形以及体全息光栅等一些特种光栅类型的全息光栅，代表了光栅制造技术的前沿水平。 

在“高端全息光栅研发”项目立项之初，国外科研机构和公司基本垄断高端全息光栅市场。随着我国光谱仪器行业打造高端光谱仪器产品、拓展国际市场需求的日益强烈，长春光机所依托该专项支持，开展了以高刻线密度光栅、大口径高衍射效率光栅为代表的高端全息全息光栅的研发工作，旨在全面提升我国全息-离子束刻蚀光栅的研制水平，开发出具有重要战略意义及代表性且需求迫切的高端全息光栅，替代进口的同时满足我国光谱分析仪器自主创新对新型全息光栅的需求；实现以关键部件开发为先导、辐射带动光谱分析仪器行业技术进步，实现以高端全息光栅自主创新带动光谱分析仪器自主创新的目标，完善光谱分析仪器产业链，增强仪器产业核心竞争力。 

项目组在研发周期内建立并完善了高端全息光栅制造及检测装备，全面提高了高端全息光栅的工艺技术，研制出国际先进的11种高端全息光栅，同时，联合国内优势企业应用新光栅开发出6种新型光谱仪器。 

一是研制出大口径匀胶机、大口径曝光系统、曲面光栅离子束刻蚀机、大口径反应离子刻蚀机、衍射波前测试仪、衍射光栅杂散光测试仪，形成了集光栅设计、制造及检验于一体的开发平台。 

二是研制出11种高端全息光栅母版，解决了高端全息光栅制造工艺技术及装备的共性基础问题，全面提升了我国光栅制造能力。 

三是在我国光谱分析仪器行业的六家领军企业进行应用示范及产业化推广，自主研发出低杂散光紫外可见光谱仪、新型火花直读光谱仪、高速单道扫描电感耦合等离子体发射光谱仪、双光束紫外–可见分光光度计、医用成像光谱仪、极紫外–软X射线双光栅单色器等六种高端光盘分析仪器。 

通过该项目持续支持，长春光机所研制出的高精度、高指标、大尺寸的高端全息光栅，不仅代表了中国的超微细加工技术达到了世界水平，更打破了中国民用光谱仪器行业及国家战略高技术领域所需要的高精度光栅受制于人的局面，在促进中国光谱仪器行业摆脱“有器无心”的局面，帮助中国光谱仪器产业改变低端化现状，提升拓展国际市场能力方面将发挥重要支撑作用。

来源：长春光机所

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